半導(dǎo)體精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

• 一般環(huán)境使用

• 半導(dǎo)體精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)XY軸采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，滑塊滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋組成，R軸直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)360°旋轉(zhuǎn)，Z軸布置于平臺(tái)大理石橫梁，常用于半導(dǎo)體精密制造及檢測(cè)。底軸寬度約是上軸長(zhǎng)度的2/3，可防止重心不穩(wěn)定。配備自潤(rùn)滑的精密滾柱導(dǎo)軌，具有精度高、剛性好等特點(diǎn)。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  重復(fù)定位精度：±1μm
  定位精度：3μm
  有效行程：100 - 350mm
  最高速度：300mm/s
  直線度：6μm / 500mm
  最大負(fù)載：10kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過(guò)750mm時(shí)，會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請(qǐng)將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢(xún)業(yè)務(wù)人員。