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Wafer & Precision Instrument Motion Stage
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唐先生(直線模組)18024904984
周先生(精密平臺)
一款高精密直驅三軸精密運動臺，采用定龍門結構，X軸安裝到大理石橫梁上，Y軸安裝到大理石基座上。配置無鐵芯直線電機，具有高動態性能、零齒槽效應和電子噪聲小等特點。配置自潤滑的精密滾柱導軌，承重大、速度快、加速度高、剛性好等特點。用于激光加工、晶圓切割、測試測量、電子元件組裝和檢測、掃描及自動化裝配等領域。
重復定位精度：±2μm
定位精度：5μm
有效行程：100 - 1000mm
最高速度：2000mm/s
直線度：±1.5μm
行走平面度：±1.5μm
最大負載：15kg - 100kg
Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業務人員。
非接觸式直驅結構；
結構高剛度設計；
精密滾柱直線導軌；
多種行程可定制；
光柵尺閉環反饋；
大理石定龍門機體。
| 規格 軸向 | X軸 / Y軸 |
| 重復定位精度 | ±2μm |
| 定位精度 | 5μm |
| 有效行程 | 100 - 1000mm |
| 最高速度 | 2000mm/s |
| 直線度 | ±1.5μm |
| 行走平面度 | ±1.5μm |
| 最大加速度 | 5G |
| 最大負載 | 15kg - 100kg |
| 光柵尺分辨率 | 0.1μm |
注意：以上參數僅做為選型參數使用，最終參數以出廠產品為準。以上定位精度在實驗環境下激光干涉儀補償后測得。
本文關鍵詞： 精密運動平臺
