公告：
喜報(bào)！雷子科技通過(guò)“高新技術(shù)企業(yè)”認(rèn)定！
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Wafer & Precision Instrument Motion Stage
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唐先生(直線(xiàn)模組)18024904984
周先生(精密平臺(tái))
一款直驅(qū)XY精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，XY軸十字疊層三片式結(jié)構(gòu)，配備自潤(rùn)滑的精密滾柱導(dǎo)軌，承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)，采用光柵閉環(huán)反饋和防塵設(shè)計(jì)，多種行程可選擇。用于晶圓切割、激光加工、測(cè)試測(cè)量、電子元件組裝及檢驗(yàn)等自動(dòng)化領(lǐng)域。
重復(fù)定位精度：±1μm
定位精度：3μm
有效行程：100 - 350mm
最高速度：300mm/s
直線(xiàn)度：6μm / 500mm
最大負(fù)載：10kg
Tips：絲桿直線(xiàn)模組行程超過(guò)750mm時(shí)，會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請(qǐng)將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢(xún)業(yè)務(wù)人員。
高精度的直驅(qū)結(jié)構(gòu)；
中型寬度，高剛度設(shè)計(jì)；
光柵尺閉環(huán)反饋，精度更高；
R軸角度定位，結(jié)構(gòu)扁平薄；
定制高加速度，滿(mǎn)足特殊要求；
可選配防塵罩裝置，有效防塵。
| 規(guī)格 / 軸向 | X軸 | Y軸 |
| 重復(fù)定位精度 | ±1μm | ±1μm |
| 定位精度 | 3μm | 3μm |
| 有效行程 | 100 - 350mm | 100 - 600mm |
| 最高速度 | 300mm/s | |
| 直線(xiàn)度 | 6μm / 500mm | |
| 行走平面度 | 000級(jí) | |
| 加速度 | 0.5G | |
| 最大負(fù)載 | 10kg | |
| 光柵尺分辨率 | 0.1μm | |
注意：以上參數(shù)僅做為選型參數(shù)使用，最終參數(shù)以出廠產(chǎn)品為準(zhǔn)。以上定位精度在實(shí)驗(yàn)環(huán)境下激光干涉儀補(bǔ)償后測(cè)得。
本文關(guān)鍵詞： 精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
公眾平臺(tái)
電話(huà)咨詢(xún)
