雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

• 一般環(huán)境使用,無(wú)塵環(huán)境使用

• 一款閉式氣浮導(dǎo)軌雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，采用氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)和光柵尺組成，十字疊層結(jié)構(gòu)。閉式氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮導(dǎo)軌四面均勻受力，相較于開式氣浮結(jié)構(gòu)，側(cè)向氣浮剛度更大，承載能力強(qiáng)，模態(tài)高，具有超高重復(fù)定位精度和定位精度的平臺(tái)。用于晶圓加工及檢測(cè)、大尺寸飛秒激光加工、測(cè)試測(cè)量等行業(yè)。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  有效行程：300mm x 300mm
  定位精度：0.05μm
  雙向重復(fù)定位精度：±0.1μm
  最高速度：200mm/s
  直線度：1μm / 300mm
  平面度：000級(jí)
  最大水平負(fù)載：10kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過(guò)750mm時(shí)，會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請(qǐng)將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。