公告：
喜報！雷子科技通過“高新技術(shù)企業(yè)”認定！
∷ 
Wafer & Precision Instrument Motion Stage
18138537102
唐先生(直線模組)18024904984
周先生(精密平臺)
3D熔覆實驗平臺，也是一款直驅(qū)龍門雙驅(qū)精密運動臺，擁有高剛性，大負載，高精度等優(yōu)越的性能，多種行程可選擇，采用無鐵芯直線電機驅(qū)動，配備自潤滑的精密滾柱導(dǎo)軌，承重大、精度高、剛性好等特點。
重復(fù)定位精度：±2μm
定位精度：5μm
有效行程：100 - 800mm
最高速度：500mm/s
直線度：6μm / 500mm
最大負載：30kg
Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產(chǎn)生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。
高精度的直驅(qū)結(jié)構(gòu)；
中型寬度尺寸高剛度設(shè)計；
精密滾柱直線導(dǎo)軌；
多種行程可選；
光柵尺閉環(huán)反饋；
可配置龍門Z軸及旋轉(zhuǎn)R軸。
| 規(guī)格 軸向 | X軸 / Y軸 |
| 重復(fù)定位精度 | ±2μm |
| 定位精度 | 5μm |
| 有效行程 | 100 - 800mm |
| 最高速度 | 500mm/s |
| 直線度 | 6μm / 500mm |
| 平面度 | 000級 |
| 最大加速度 | 2G |
| 最大負載 | 30kg |
| 光柵尺分辨率 | 0.5μm |
注意：以上參數(shù)僅做為選型參數(shù)使用，最終參數(shù)以出廠產(chǎn)品為準。以上定位精度在實驗環(huán)境下激光干涉儀補償后測得。
本文關(guān)鍵詞： 直線運動平臺
